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    多晶硅薄膜的膜厚和折射率分析

    發(fā)布時間： 2022-04-26　　點擊次數(shù)： 1160次

    多晶硅薄膜的膜厚和折射率分析

    測量示例

    可以測量從半導(dǎo)體等精密加工產(chǎn)品到眼鏡和汽車零件的各種樣品的膜厚。

     

    F3-CS桌面式膜厚測量系統(tǒng)

    F3-CS 是測量小樣品的測量系統(tǒng)。與測量臺集成的測量系統(tǒng)使其易于攜帶。
    只需將樣品的測量面朝下放在載物臺上即可進行測量，大約1秒即可測量膜厚和折射率。

    主要特點

    • 緊湊的尺寸

    • 輕松連接，僅 USB 連接

    • 光學(xué)常數(shù)分析（折射率/消光系數(shù)）

    主要用途

    光學(xué)鍍膜硬涂層、防滴膜等
    平板有機膜等

    產(chǎn)品陣容

    模型F3-CS-UVF3-CSF3-CS-近紅外
    測量波長范圍190 – 1100nm380 – 1050nm950 – 1700nm

    膜厚測量范圍

    		3nm – 40μm15nm – 70μm100nm – 250μm
    準(zhǔn)確性*± 0.2% 薄膜厚度± 0.4% 薄膜厚度
    1納米2納米3納米

    *取決于樣品和測量條件



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