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日本sanyu electron桌面涂布機SC-701AT
更新日期:2024-05-14
訪問量:983
廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
生產(chǎn)地址:
簡要描述:
日本sanyu electron桌面涂布機SC-701AT排氣 → 鍍膜(蝕刻) → 全自動直至向大氣開放盡管是緊湊型,但仍可控制膜厚(簡易型)操作簡單、重現(xiàn)性高的全自動濺射設(shè)備配備鍍膜/蝕刻模式
日本sanyu electron桌面涂布機SC-701AT
特征
排氣 → 鍍膜(蝕刻) → 全自動直至向大氣開放
盡管是緊湊型,但仍可控制膜厚(簡易型)
操作簡單、重現(xiàn)性高的全自動濺射設(shè)備
配備鍍膜/蝕刻模式
應(yīng)用/結(jié)果示例
適用于各種設(shè)備的電極膜附件
用于制造反射薄膜等
日本sanyu electron桌面涂布機SC-701AT
基本規(guī)格
陰極 | φ2英寸/2極面對電極 |
濺射靶 | 包括 Au 目標(biāo) |
蝕刻靶 | 包括鋁目標(biāo) |
膜厚設(shè)定方法 | 預(yù)設(shè)方法/帶膜厚監(jiān)視器的數(shù)字顯示 |
氣體引入機制 | 針閥 |
真空泵 | 直聯(lián)回轉(zhuǎn)泵:20l/min(帶自動漏氣) |
排氣操作 | 自動的 |
腔室尺寸 | 內(nèi)徑 φ120 mm x D120 mm(SUS 制) |
樣品交換方式 | 前門開閉式 |
尺寸(寬/深/高) | 主體:225/420 / 320mm RP:300/160 / 200mm |
重量 | 身體:15kg RP:9kg |
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