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日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-701HMCⅡ
更新日期:2024-05-14
訪問(wèn)量:1077
廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
生產(chǎn)地址:
簡(jiǎn)要描述:
日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-701HMCⅡ支持W(鎢)/Ni(鎳)/Cr(鉻)/Ti(鈦)等成膜的DC濺射設(shè)備使用磁控管陰極內(nèi)置微機(jī),高精度控制成膜過(guò)程操作方式為全自動(dòng)/手動(dòng)2種模式標(biāo)配自動(dòng)快門(mén)機(jī)構(gòu)
日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-701HMCⅡ
特征
支持W(鎢)/Ni(鎳)/Cr(鉻)/Ti(鈦)等成膜的DC濺射設(shè)備
使用磁控管陰極
內(nèi)置微機(jī),高精度控制成膜過(guò)程
操作方式為全自動(dòng)/手動(dòng)2種模式
標(biāo)配自動(dòng)快門(mén)機(jī)構(gòu)
應(yīng)用/結(jié)果示例
W/Ni/Cr/Ti等的成膜
燃料電池基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)
日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-701HMCⅡ
基本規(guī)格
陰極 | φ2寸磁控陰極 |
快門(mén)機(jī)制 | 自動(dòng)/手動(dòng)操作 |
氣體引入機(jī)制 | 針閥(自動(dòng)/手動(dòng)控制) |
真空泵 | 直聯(lián)回轉(zhuǎn)泵:100l/min(帶自動(dòng)漏氣) |
腔室尺寸 | 內(nèi)徑φ160mm x D160mm(SUS制) |
樣品交換方式 | 前門(mén)開(kāi)閉式 |
尺寸(寬/深/高) | 機(jī)身: 360/360 / 260mm RP:174/460 / 264mm |
重量 | 身體:20kg RP:23kg |
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