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日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-701HMCⅡ

日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-701HMCⅡ

更新日期:2024-05-14

訪問(wèn)量:1077

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

生產(chǎn)地址:

簡(jiǎn)要描述:
日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-701HMCⅡ
支持W(鎢)/Ni(鎳)/Cr(鉻)/Ti(鈦)等成膜的DC濺射設(shè)備
使用磁控管陰極
內(nèi)置微機(jī),高精度控制成膜過(guò)程
操作方式為全自動(dòng)/手動(dòng)2種模式
標(biāo)配自動(dòng)快門(mén)機(jī)構(gòu)

日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-701HMCⅡ

特征

  • 支持W(鎢)/Ni(鎳)/Cr(鉻)/Ti(鈦)等成膜的DC濺射設(shè)備

  • 使用磁控管陰極

  • 內(nèi)置微機(jī),高精度控制成膜過(guò)程

  • 操作方式為全自動(dòng)/手動(dòng)2種模式

  • 標(biāo)配自動(dòng)快門(mén)機(jī)構(gòu)



應(yīng)用/結(jié)果示例

  • W/Ni/Cr/Ti等的成膜

  • 燃料電池基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)

日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-701HMCⅡ


基本規(guī)格

陰極φ2寸磁控陰極
快門(mén)機(jī)制自動(dòng)/手動(dòng)操作
氣體引入機(jī)制針閥(自動(dòng)/手動(dòng)控制)
真空泵直聯(lián)回轉(zhuǎn)泵:100l/min(帶自動(dòng)漏氣)
腔室尺寸內(nèi)徑φ160mm x D160mm(SUS制)
樣品交換方式前門(mén)開(kāi)閉式
尺寸(寬/深/高)機(jī)身:
360/360 / 260mm RP:174/460 / 264mm
重量身體:20kg
RP:23kg



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